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扫描电子显微镜及分析二次电子自旋极化的方法

WOJP18012592 2018-3-27 发明申请

2019-10-3

该扫描电子显微镜包括用于测量从样品发射的二次电子的自旋极化的自旋检测器和用于分析来自自旋检测器的测量数据的分析装置。分析装置确定测量数据中二次电子自旋极化局部变化的区域的宽度。所述分析装置基于所述区域的宽度额外地评估所述样品的应变。该扫描电子显微镜的结构使得能够高精度地分析磁性材料中的应变。