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差动迁移率光谱仪单元的动态加热

WOIB22051606 2022-2-23 发明申请

2022-9-1

一种操作差动迁移率光谱仪(DMS)的方法，包括提供设置在DMS单元的陶瓷体附近的加热器。第一控制电压被施加到加热器。第一阈值由设置在基本上围绕DMS单元的幕板内的第一传感器检测。至少部分地基于所检测的第一阈值将第二控制电压施加到加热器。在施加第二控制电压期间，对DMS单元内的气体进行质谱分析。