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用于自动对准扫描透射电子显微镜以进行进动电子衍射数据映射的方法
KR1020190031926 2019-3-20 发明申请
2019-9-30
本发明涉及一种旋进式电子衍射装置。 本发明涉及一种扫描透射电子显微镜(STEM)自动对准方法，用于获得具有高空间分辨率的映射数据。
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