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用于原子力显微镜的样品位置可控的外平台系统及使用该系统的观察方法

KR1020180069529 2018-6-18 发明授权

2019-9-30

本发明涉及一种能够在原子力显微镜下控制样品位置的外部载物台系统和使用该系统的观察方法。本发明提供一种外部载物台系统和使用该外部载物台系统的观察方法，以通过排除原子力显微镜的内部驱动机械部分来提高分析结果的信噪比。此外，可以校正和合成在相同位置测量的图像，例如电子显微镜图像，以获得高分辨率立体图像。