| 基于超构表面的集成光谱仪 |
| CN202210502480.6 2022-5-10 发明申请 |
| 2022-8-26 |
| 本发明涉及光谱仪技术领域，尤其是涉及一种基于超构表面的集成光谱仪，包括相对设置且用于反射光线的第一光线反射模块和第二光线反射模块，所述第一光线反射模块上设置有准直反射镜、聚焦光栅和线阵CCD，所述第二光线反射模块上设置有用于入射光通过的光阑，所述准直反射镜与光阑相对设置且位于入射光的出射光路上，所述聚焦光栅和线阵CCD均位于第二光线反射模块的出射光路上，通过对纳米微结构阵列的合理的设计，该光谱仪能够适用于不同的波段范围探测，利用反射式的离轴折叠光路设计，能够大大降低光谱仪的空间尺寸，且通过刻蚀将多个光学元件集成在同一块衬底上，免去了组装中高精度的对准过程，增加了系统的抗干扰能力。 |
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