| 一种功率可调的窄线宽、宽波长调谐硅基外腔激光器 |
| CN202210578716.4 2022-5-26 发明申请 |
| 2022-8-23 |
| 本发明公开了一种功率可调的窄线宽、宽波长调谐硅基外腔激光器，属于光电通信技术领域。包括光源和硅基外腔芯片，所述硅基外腔芯片包括耦合器、相位调制器、等效微环调制器与第三分束器。通过硅基衬底的SOI、SiN、SiON或SiO2材料工艺平台实现硅基外腔芯片的片上集成，达到机械性能佳、抗振性好，同时实现外腔激光器的小型化和低成本的技术效果；通过热调谐使得等效微环调制器结构和硅基微环调制器的自由光谱范围移动来选择波长，达到宽波长调谐范围的技术效果；通过等效微环调制器结构和硅基微环调制器输出高Q值，以达到窄线宽输出的技术效果。 |
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