在显微镜系统中,方法关注,以及程序
 
JP2018051861  2018-3-20  发明申请

2019-9-26
 
  [问题]为了避免物镜与样品技术的碰撞。 [解决方案]在显微镜系统1中,物镜12对来自试样S的光进行聚光,设置控制部20a。 控制部分20a至少是基于物镜的位置信息的样本S,12的三维信息,物镜12关于碰撞警告警报产生样本S,输出到通知部分30。 图1[附图]
 
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