| 基于Fery棱镜的高光谱成像系统精密装调集成工艺方法 |
| CN202111265292.8 2021-10-28 发明申请 |
| 2022-2-8 |
| 本发明属于光学精密装调技术领域，具体涉及一种基于Fery棱镜的高光谱成像系统精密装调集成工艺方法。具体步骤包括：建立空间坐标系、Fery棱镜组件装调及系统集成过程。本发明通过三坐标测量机、PSM装调显微镜、自准直经纬仪对Fery棱镜组件进行高精度的空间坐标定位、基准传递和精密测量，综合测量精度优于6.8μm，在Fery棱镜组件装调过程中先通过三坐标测量机对各个Fery棱镜组件进行单组件精密装调，再结合PSM装调显微镜和靶球进行基准传递和系统集成，进一步降低了系统装配集成的难度。 |
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