| 一种小型化低成本光谱仪 |
| CN202210526991.1 2022-5-12 发明申请 |
| 2022-8-19 |
| 本发明公开了一种小型化低成本光谱仪，包括环形器，所述环形器包括common端、pass端和Reflect端，所述环形器的pass端与可调谐滤波器的输入光纤相连，所述可调谐滤波器的输出光纤与光反射系统相连，所述环形器的Reflect端连接有探测器，所述探测器和可调谐滤波器都与控制与分析处理系统相连，所述可调谐滤波器由输入光纤，输出光纤，透镜、透射式衍射光栅、1/4波片、MEMS转镜组成。本发明通过增加了透镜和光栅的利用率，新的光路设计以及选择体积更小、速度更快、稳定性更好的MEMS微机电系统转动原件，有效缩小了光谱仪的体积，降低了制作成本，实现了更好的性能。 |
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