| 长波红外光学系统中的锥镜 |
| CN202210650016.1 2022-6-10 发明申请 |
| 2022-8-19 |
| 长波红外光学系统中的锥镜涉及长波红外光学领域,弥补了8μm~12μm远红外波段的锥镜膜厚均匀性的技术空白。本发明提出在锥镜上制备入射波长为8μm~12μm反射率小于0.5%的长波红外减反射膜,利用Essential Macleod软件,在ZnS基片上完成了长波红外减反射膜的膜系设计。采用物理气相沉积方法,选择n=4.3@10μm的Ge做基片和镀膜材料的粘结层,n=2.2@10μm的ZnS为高折射率材料,n=1.35@10μm的YF3为低折射率材料,完成了光学薄膜的制备。利用Lamda1050光谱仪测试了锥镜的反射光谱曲线和薄膜厚度均匀性测试曲线,结果表明所研制的膜层在8μm~12μm处反射率均值为1.483%,对试验件开展了环境适应性测试,测试结果满足使用要求。 |