图像组生成装置,球面像差校正计算装置,显微镜,球面像差校正方法及程序
 
JP2018549664  2016-11-8  发明申请

2019-9-26
 
  [解决方案]具有球面像差校正光学系统的物镜, 将物体放置在载物台上, 通过调整像差校正光学系统状态的第一球面像差校正量, 同时改变物镜与载物台之间的相对距离, 所述第一组图像是通过对物体进行连续成像而获得的, 在改变物镜和载物台之间的相对距离的同时,将球面像差校正光学系统的像差校正量调整为第二像差校正量,并且对通过生成装置组组组的生成部分获得的物体进行第二组连续成像。
 
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