| 一种测量系统用的光谱仪 |
| CN202210604119.4 2022-5-30 发明申请 |
| 2022-8-16 |
| 本发明公开了一种测量系统用的光谱仪，包括入射孔，用于透过入射光；第一反射镜，用于将入射光反射到光栅上；光栅，用于对入射光进行衍射，将入射光衍射为第一衍射光信号、第二衍射光信号和高级次衍射光信号；第一出射孔，用于输出第一衍射光信号；第一探测器，用于将第一衍射光信号转换为第一电信号；第二出射孔，用于输出第二衍射光信号；第二探测器，用于将第二衍射光信号转换为第二电信号；本发明增加了第二衍射孔以及第二探测器，用于产生零级衍射光信号，并通过第二探测器进行监测，在测量系统进行样品厚度检测时，样品z位置的变化会造成光点在光谱仪入射狭缝上位置的变化，达到减少样品薄膜厚度的测量误差，提高测量的准确度的效果。 |
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