| 一种可变入射角的光谱椭偏仪 |
| CN202210627876.3 2022-5-30 发明申请 |
| 2022-8-16 |
| 本发明公开了一种可变入射角的光谱椭偏仪。为了现有技术对于集成电路芯片制造工艺，椭偏仪测量灵敏度低的问题；本发明包括：偏振光发生组件，将光源起偏成线性偏振光后聚焦到晶圆表面的待测点；偏振光反射组件，将经晶圆反射后的偏振光聚焦到光谱仪的入射狭缝上；入射角选择孔，设置在偏振光发生组件或偏振光反射组件中，通过平移达到根据待测膜层结构计算选择的最大灵敏度对应的测量入射角。根据待测膜层结构选择测量入射角，通过平移入射角选择孔改变入射角，最大程度上优化测量的灵敏度。 |
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