| 一种简洁的微型光谱仪 |
| CN202221171666.X 2022-5-16 实用新型 |
| 2022-8-16 |
| 本实用新型公开一种简洁的微型光谱仪，其包括第一双光纤准直器、VBG光栅、MEMS反射镜、第二双光纤准直器、Si标准具和光探测器PD；所述第一双光纤准直器、VBG光栅和MEMS反射镜依序设置并组成TOF；所述第一双光纤准直器的输出端光纤连接至第二双光纤准直器的输入端光纤；所述Si标准具上设有用于调节其温度的加热层；所述Si标准具的透射峰中心波长受加热层的温度调节，TOF的透射峰中心波长受MEMS反射镜调节。相比，Aegis的现有产品本实用新型的分辨率提高数倍至一个数量级以上。此外，Si标准具的Si片可以通过光学加工直接获得，使其拥有较低的成本。 |
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