| 扫描探针显微镜及使用该显微镜的扫描方法 |
| US16362095 2019-3-22 发明申请 |
| 2019-9-26 |
| 为了避免在探针和样品表面上施加过载， 以及在进行间歇测量方法时，减少测量样品表面不规则形状的时间， 本发明提供了一种扫描探针显微镜，包括 : 悬臂，其上连接有探针，该扫描探针显微镜被构造成通过使探针间歇地与样品表面接触来扫描样品表面； 以及控制装置，被配置为执行使探针和样品表面彼此接触的第一操作，以及在第一操作之后使探针和样品表面彼此分离的第二操作。 控制装置通过使悬臂热变形来执行第二操作。 |
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