| 一种基于低相干干涉的光谱仪标定方法与系统 |
| CN202210411685.3 2022-4-19 发明申请 |
| 2022-8-12 |
| 本发明公开了一种基于低相干干涉的光谱仪标定方法与系统。本发明将两块厚度不同的量规放在同一平面，并分别测量量规表面和参考平面镜之间的干涉信号，进而得到相对相位差分布。将He?Ne激光器的光耦合进干涉仪，可以得到特征波长和对应像素位置，加上两次测量的光程差之差，可在相对相位差分布基础上获得相位差的绝对值；然后根据特征谱线的波长和位置可以计算两次测量光程差之差的精确值，即可从相位差的绝对值直接得到每个像素对应的波长，完成光谱仪的标定。本发明可一次性获得相机所有像素与波长的对应关系。同时，干涉信号相位的高灵敏度避免了传统的多特征谱线拟合方法的拟合误差，使得该方法可以实现光谱仪的宽谱、快速、高精度标定。 |
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