| 激光诱导击穿光谱测量系统 |
| CN202210526689.6 2022-5-16 发明申请 |
| 2022-8-12 |
| 本申请提供了一种激光诱导击穿光谱测量系统。所述激光诱导击穿光谱测量系统包括光谱测量装置，包括光路单元结构、样品载台及光谱仪，所述光路单元结构用于向被测样品发射激光，所述样品载台用于承载被测样品；所述光谱仪用于收集所述激光在所述被测样品表面产生的等离子体光谱并根据所述光谱获取被测样品的成分；以及驱动装置，用于实现所述光路单元结构与样品载台的相对运动以使所述光谱测量装置向被测样品表面的不同位置发射激光。 |
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