| 可调滤波结构、制作方法及波长可调谐光源系统 |
| CN202210511009.3 2022-5-11 发明申请 |
| 2022-8-12 |
| 本申请公开了一种可调滤波结构、制作方法及波长可调谐光源系统，涉及半导体的技术领域。可调滤波结构包括第一谐振腔、加热组件、间隔层以及第二谐振腔。第一谐振腔包括相对的第一表面及第二表面；加热组件设于第一表面，用于改变第一谐振腔的自由光谱范围；间隔层设于第二表面；第二谐振腔通过间隔层与第一谐振腔级联，第一谐振腔的自由光谱范围与第二谐振腔的自由光谱范围不同；间隔层为环状以在第一谐振腔与第二谐振腔之间形成空气腔；第二谐振腔的热光系数小于第一谐振腔的热光系数；加热组件用于改变第一谐振腔的折射率，以调控可调滤波结构的透射波长。故本申请具有调谐范围大、结构简单、集成度高、批量加工方便的优点。 |
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