| 用于自动对准扫描透射电子显微镜以进行进动电子衍射数据映射的方法 |
| US16359231 2019-3-20 发明申请 |
| 2019-9-26 |
| 一种用于自动对准扫描隧道电子显微镜(STEM)以获取进动电子衍射(PED)映射数据的方法，包括产生与STEM光轴对准并聚焦在样品区域上的入射电子束。 通过在多个离散位置上扫描对准的入射光束并获取与每个位置相关联的信号，从样本区域获取空间分布的非倾斜信号。 该方法还可以包括将入射电子束相对于光轴倾斜到固定倾斜角，然后通过在施加循环方位角的同时扫描穿过多个离散位置的倾斜入射电子束，从样品区域获取倾斜信号空间分布。 对倾斜梁进行扫描协议，并获取与每个位置相关联的信号。 通过比较非倾斜信号空间分布和倾斜信号空间分布来确定方位角空间对准校正。 |
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