| 一种三光栅级联结构及基于三光栅级联结构的超宽带吸收器 |
| CN201911175771.3 2019-11-26 发明申请 |
| 2020-3-27 |
| 本发明涉及一种三光栅级联结构及超宽带吸收器,属于光学器件技术领域。一种三光栅级联结构,由三光栅级联单元构成,三光栅级联单元从左到右依次包括金属钨块、二氧化硅介质和条形金属钨。一种基于三光栅级联结构的超宽带吸收器,包括:基底层;铬膜层,其形成于基底层表面;和氮化硅层,其形成于铬膜层上;和石墨烯层,其形成于氮化硅层上;和三光栅级联结构层,其形成于石墨烯层上。发明的吸收器能覆盖的光谱范围更宽,跨越部分紫外光、全部可见光、部分红外线;吸收率高,尤其近红外波段,吸收率达90%以上。 |