| 覆盖度量系统和方法 |
| US15952081 2018-4-12 发明申请 |
| 2019-9-19 |
| 公开了一种用于测量样品的重叠误差的系统。 该系统可以包括被配置为发射宽带照明的宽带照明源。 该系统还可以包括一个或多个光学元件，其被配置为将宽带照明引导到设置在样品上的目标， 其中所述一个或多个光学元件被配置为收集来自所述目标的照明并将其引导至光谱仪，其中所述光谱仪被配置为将从所述样品收集的照明的多个波长色散至传感器的多个元件以产生多个信号。 该系统还可以包括控制器，该控制器被配置为通过将多个信号与多个计算信号进行比较来计算目标的第一结构和第二结构之间的覆盖误差。 |
微信公众号