| 一种基于MEMS振镜的中红外激光外差光谱仪 |
| CN202210418214.5 2022-4-20 发明申请 |
| 2022-8-5 |
| 本发明涉及一种基于MEMS振镜的中红外激光外差光谱仪，包括光收集模块，光调制模块、光路模块，光调制模块包括MEMS振镜和用于驱动MEMS振镜进行有限偏转运动的驱动装置，光调制模块还包括离轴抛面镜，其中，第一离轴抛面镜设置在光收集模块的出光光路上，用于聚焦光收集模块收集的光并将其传递至所述振镜本体，第二离轴抛面镜设置在振镜本体的反射光路上，并将接收的反射光准直后传递至光路模块。本发明整体斩波调制部分体积很小，可以适用于多种场合；MEMS振镜通过驱动电路板驱动，大大提高了斩波调制的稳定度，本发明可以作为激光探测技术的配套装置为激光探测系统提供斩波调制模块。 |
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