| 扫描电子显微镜及其成像方法 |
| WOJP18011622 2018-3-23 发明申请 |
| 2019-9-26 |
| 本发明的目的在于提供一种能够提高使用气体放大的检测器的响应速度的技术。 本发明的扫描电子显微镜具备 : 对试样照射电子束的照射光学系统； 样品台； 电场提供电极，用于提供作用于由电子束照射产生的电子的电场； 偏转线圈，用于控制电子束的扫描速度； 以及用于向样品施加电压的电源， 其中当电子束的扫描速度慢时，通过向样品施加更接近地电压的电压来解决本发明的上述问题， 与电子束扫描速度快时施加到样品上的电压相比， |
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