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扫描电子显微镜图像中的半监督异常检测

WOUS19022655 2019-3-18 发明申请

2019-9-26

基于自动编码器的半监督方法用于异常检测。使用这些方法可以发现半导体晶片上的缺陷。该模型可以包括变化的自动编码器，例如包括梯形网络的自动编码器。无缺陷或干净的图像可用于训练模型，该模型随后用于发现缺陷或其它异常。