| 角度分辨光电子光谱仪及方法 |
| WOSE22050057 2022-1-19 发明申请 |
| 2022-8-4 |
| 描述了一种角度分辨光电子光谱仪和用于这种光谱仪的方法。 该光谱仪包括具有第一端(1)和第二端(2)的静电透镜系统(101)， 并且被布置成在固体样品(3)的样品表面(Ss)上形成从测量区域(A)发射的电子束， 以及将电子传输到第二端(2)，其中第一透镜元件(4)被配置为相对于样品(3)被设置为正电压。 该光谱仪包括至少一个第一屏蔽电极(17)，该第一屏蔽电极具有一个限位孔(18)， 布置成使得光轴(6)与限制孔(18)上的任何点之间的角度大于45°且小于70°， 从光轴(6)处的样品表面(Ss)上的一点看，至少一个补偿电极(7)围绕光轴(6)布置，其与测量区域(A)的距离大于第一透镜元件(4)的距离。 根据所述方法，所述补偿电极(7)被配置为相对于所述样品(3)设置为负电压。 |
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