| 一种三坐标测量机及标定方法 |
| CN202111298735.3 2021-11-4 发明申请 |
| 2022-1-11 |
| 本发明提供了一种三坐标测量机及标定方法，属于精密测量领域，三坐标测量机包括复合式测量头和底光源组件；所述复合式测量头设置在竖向驱动轴下端，所述竖向驱动轴安装在机台的支撑架上；所述复合式测量头包括接触式探针、影像测头和光谱共焦测头；所述底光源组件设置在所述复合式测量头下方且可控的横向移动。X/Y驱动轴端部设置衍射干涉器。测量头需融合标定。通过本申请的三坐标测量机，结构简单，能够很好的提高测量精度，便于在高精测量领域的推广。 |
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