| 一种基于光纤端面集成超表面的二氧化碳传感结构及系统 |
| CN202210445785.8 2022-4-26 发明申请 |
| 2022-7-29 |
| 本发明公开了一种基于光纤端面集成超表面的二氧化碳传感结构及系统。本发明中的二氧化碳传感结构，是在光纤端面蒸镀一层亚波长厚度的金膜，所述金膜上刻蚀有多个微纳结构，每个微纳结构由多个圆孔组成；在所述的金膜上覆盖有特异性吸附材料层，用于将二氧化碳气体浓度变化转化为光谱变化。本发明中的系统包括二氧化碳传感结构，以及超连续激光光源、光纤耦合器和光谱分析仪。本发明提出气体传感思路，将微纳结构与光纤端面结合，实现反射式测量，可以进行狭窄环境或者极端环境下的气体传感，如医学侵入式探测或者易爆依然环境下的气体探测。 |
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