| 一种可调光学滤波器件 |
| WOCN19107890 2019-9-25 发明申请 |
| 2021-4-1 |
| 一种可调光学滤波器件，器件包括设置有第一反射结构(106)的第一衬底(101)和设置有第二反射结构(107)的薄膜(103)，第一衬底(101)和薄膜(103)具有反射结构的表面的外围通过键合物(102)相互键合以在反射结构之间形成腔体，薄膜(103)在腔体一侧的表面设置有压电薄膜结构(108)。可调光学滤波器件，可避免由电容驱动导致的吸合效应，从而提高薄膜(103)的可动范围，使法伯腔的光谱可调范围相应扩大，并可将其应用于尺寸受限的器件上，如微型光谱仪、小型甚至迷你高光谱相机或手机上。 |
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