| 基于MEMS的高光谱系统及光谱仪 |
| CN202220147413.2 2022-1-19 实用新型 |
| 2022-7-29 |
| 本实用新型公开了基于MEMS的高光谱系统及光谱仪，其包括光源(121)和光束处理单元，MEMS扫描微镜(151)，MEMS扫描微镜(151)为阵列式的扫描微镜；光源(121)经光束处理单元处理后的光束(142)进入MEMS扫描微镜(151)，光束(142)通过MEMS扫描微镜(151)按照需求依次反射；干涉系统(160)包括MEMS平动微镜(163)，MEMS扫描微镜(151)反射后的光束(142)进入MEMS平动微镜(163)，MEMS平动微镜(163)对光束(142)进行调制并反射；本实用新型设计的光谱仪其体积小、分辨率高、稳定性好，而且成本低。 |
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