| 基于亚波长结构的宽带滤波型片上光谱/频谱分析系统 |
| CN202111062774.3 2021-9-10 发明申请 |
| 2021-11-26 |
| 本发明涉及光子芯片的光谱/频谱分析技术领域,具体涉及一种宽带滤波型光谱/频谱分析系统。基于亚波长结构的宽带滤波型片上光谱/频谱分析系统,包括依次布置在芯片上的光耦合器、功分器、亚波长结构宽带滤波器阵列、集成光波导和光电探测器;亚波长结构宽带滤波器包含若干微纳结构,任意两个不同的亚波长结构宽带滤波器的微纳结构参数均不相同。本发明是在光子芯片上实现的,可将光耦合器、分光器和亚波长结构宽带滤波器都集成在一个芯片上,亚波长结构宽带滤波器尺寸非常小,与传统光谱/频谱探测系统相比,体积大幅度减小,且功耗和重量也有很大降低,使系统更稳定。 |