| 一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台 |
| CN201910453894.2 2019-5-29 发明申请 |
| 2019-9-20 |
| 本发明公开了一种扫描电镜原位电化学检测芯片的多工位样品台，该多工位样品台包括样品台支架、盛样台、样品台电路板、芯片固定装置、芯排线接头、法兰处电路板、固定法兰和I/O接口；所述样品台支架与所述盛样台同轴设置；所述样品台电路板设置在盛样台顶部；所述芯片固定装置设在盛样台上；所述芯排线接头一端与所述样品台电路板电路连接，另一端与所述法兰处电路板电路连接；所述法兰处电路板与所述固定法兰固定连接；所述I/O接口居中设置在固定法兰上。本发明具有多工位同时观察样品的功能，实现原位电化学检测芯片在不同控电位环境下检测样品随控电位变化的对比，提高了检测效率。 |
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