| 一种通过光纤端面的悬臂梁薄膜检测氢气浓度的系统 |
| CN202220559444.9 2022-3-15 实用新型 |
| 2022-7-22 |
| 本实用新型公开了一种通过光纤端面的悬臂梁薄膜检测氢气浓度的系统,包括宽带光源、光谱仪、光纤环形器、光纤氢气传感器、氢气发生器、氮气发生器和气体混合器,所述光纤氢气传感器包括光纤以及平面结构的悬臂梁薄膜,所述光纤的一端面上具有向内延伸的一腔室,所述悬臂梁薄膜设置于所述光纤具有所述腔室的端面上,且位于所述腔室前方。该系统所采用的光纤氢气传感器的悬臂梁薄膜厚度为纳米量级,从而对外界氢气浓度探测更加灵敏,且法布里珀罗干涉仪的腔室受外界的光照、温度等影响较小。 |