| 原子力显微镜装置，方法和光刻系统 |
| KR1020197022732 2018-1-12 发明申请 |
| 2019-9-20 |
| 一种用于确定样品中的亚表面结构的原子力显微镜装置，包括具有柔性载体的扫描头和探针，所述探针包括设置在所述柔性载体上的探针尖端。 这里，致动器将声学输入信号施加到探头，并且尖端位置检测器在扫描期间测量探头尖端相对于扫描头的运动，并且提供指示将由控制器接收和分析的运动的输出信号。 探针针尖的至少一个端部朝向探针针尖的端部远离柔性载体逐渐变细。 端部在距端部的距离dend处具有最大横截面积amax，最大横截面积0.2面积2amax的平方根至少为100nm。 |
微信公众号