产业专利数据
 
电子显微镜和漂移校正方法
 
JP2018044013  2018-3-12  发明申请
2019-9-19
 
  [问题]减少电镜样品漂移的漂移校正方法。 [解决方案]100是电子显微镜， 用于用线圈13扫描样品的电子探针， 以及物镜14，物镜13和14以及扫描线圈控制部20，其中，控制部20通过校正样品表面与样品表面之间的倾斜偏差来进行聚焦漂移电子探针处理。 图1[附图]
 
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