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X射线光谱分析装置及元素分析方法
JP2021195149 2021-12-1 发明申请
2022-7-15
本发明提供一种X射线光谱分析装置,其能够在检测器中高精度地检测特性X射线。 分光元件12和检测器14沿着一个罗兰圆104的圆周设置。 光谱仪12的光谱平面沿罗兰圆104的长度短于照射在样品架108上的激发线的照射表面在罗兰圆104的表面内的长度。 分光元件和样品保持器被设置成在分光元件的共同分光范围内对特征X射线组进行分光。 “选择图” 2
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