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透射电子显微镜
US15339922 2016-10-31 发明申请
2019-9-19
本发明提供了一种透射电子显微镜,用于使样品成像。 该显微镜具有用于保持样品的载物台和用于将电子束引导到样品上的视场上的电子束柱。 电子束柱包括产生电子束的电子束源和将电子束会聚到样品上的视场上的电子束光学器件。 该显微镜还具有电子束扫描器,用于在样品上的多个视场上扫描电子束。 显微镜还具有检测器,用于检测从样品发出的辐射以产生图像。 提供控制器以分析所检测的辐射以产生样品的图像。
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