| 具有改善的强度过渡位置侦测及倾斜补偿的棱镜耦合系统及方法 |
| TW109137176 2020-10-27 发明申请 |
| 2021-11-16 |
| 棱镜耦合系统及方法包括使用棱镜耦合系统来收集制品的2数位模式光谱。借由对模式线及临界角影像执行加权拟合来寻找模式线及临界角的位置及定向且该等位置及定向用来界定补偿的模式光谱。若找到模式线倾斜则将其从2数位模式光谱移除以界定补偿的模式光谱。接著使用本领域中习知的技术来处理补偿的模式光谱以相对于未补偿的模式光谱提供对试样的应力相关的特性的更准确的估算。也揭露了使用导数光谱及曲线拟合来准确地决定试样的模式光谱中的强度过渡的位置的基于导数的方法。--2.2-- |
微信公众号