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将模拟和光学显微镜相结合以确定检查模式

WOUS19021725 2019-3-12 发明申请

2019-9-19

当没有缺陷示例或仅有限数量的缺陷示例可用时，可以确定用于检测缺陷的最佳光学检查模式。可以使用电磁模拟来确定所述多个位置处的感兴趣缺陷的信号和所述多个模式的信号。可以确定多个位置和多个模式的每个组合处的感兴趣缺陷的信号与噪声的比值。可以基于所述比率来确定具有优化的信噪比特性的模式。