| 一种线扫描光谱共焦显微测量仪 |
| CN202220734769.6 2022-3-31 实用新型 |
| 2022-7-5 |
| 本实用新型公开了一种线扫描光谱共焦显微测量仪，包括线状光源聚焦模块、面阵光谱获取模块以及依次由下而上呈线性排列的色散物镜、分光镜、光谱仪前置物镜、光谱仪准直镜；所述线状光源聚焦模块用于平面内聚焦形成线状光源，所述面阵光谱获取模块用于获取所述光谱仪准直镜入射的光，形成面阵光谱；所述线状光源聚焦模块、色散物镜以及谱仪前置物镜依次设于所述分光镜的入射光路、反射光路以及透射光路上；所述光谱仪准直镜与光谱仪前置物镜之间设有第一狭缝，所述第一狭缝用于光强滤波；本实用单次测量可同时得到线上几千个测量点的深度信息，通过一维扫描即可获得被测物表面的三维形貌。 |
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