| 一种飞点扫描白光光谱分光干涉仪 |
| CN202122822518.1 2021-11-17 实用新型 |
| 2022-7-5 |
| 本实用新型公开了一种飞点扫描白光光谱分光干涉仪，具体涉及光学仪器领域，包括光源、隔离器、接收端、光纤耦合器、准直镜、第一分光镜、参考臂和样品臂；接收端包括第一接收端和用于实施2D监控的第二接收端；光源的出口端与隔离器的入口端连接；隔离器的出口端与光纤耦合器一端连接；第一接收端与光纤耦合器连接；光纤耦合器与准直镜连接；准直镜与第一分光镜连接；第一分光镜的一端与参考臂连接；第一分光镜的另一端与样品臂连接；样品臂与第二接收端连接；本实用新型同时兼备3D测量功能和2D监控功能，用户可以利用2D功能实时监控、快速精确跟踪、定位所需测量样品区域。 |
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