| 用于测量材料和物质的振动光谱的紧凑红外光谱仪系统和方法 |
| US16713398 2019-12-13 发明申请 |
| 2020-6-18 |
| 用于在2.5m-14m波长的中红外光谱范围内测量材料和物质的基模振动光谱的系统和方法。 在此公开。 在一个实施例中,中红外吸收光谱仪(MIRAS)系统包括红外微机电系统(MEMS)单元素发射器光源。 光源是电脉冲的,发射波长范围为2.5m-14m的电磁辐射,并具有集成的能量集中光学器件,以提供用于光谱吸收过程的能量。 该系统包括具有自校准特征的扫描高效红外光谱光栅,其被配置为使得具有用于样品的光谱吸收过程的吸收信息的入射能量在光栅闪耀角的预定阈值内。 该系统还包括单元件热检测器,用于从红外光谱光栅接收具有吸收信息的输出能量。 |