| 外差原子力显微镜装置，方法和光刻系统 |
| KR1020197022726 2018-1-15 发明申请 |
| 2019-9-18 |
| 一种用于对样品中的纳米结构进行表面底部检测的方法，该方法使用原子力显微镜系统，该原子力显微镜系统包括具有悬臂的探针和具有设置在悬臂上的探针尖端的扫描头。 所述方法包括 : 在平行于所述表面的一个或多个方向上相对于彼此移动所述探针针尖和样品，以用探针针尖扫描所述表面； 以及在扫描期间监视探针针尖相对于扫描头的移动，以获得输出信号。 在扫描过程中， 通过向探头施加1个至少2个具有1个小于1的差值2且具有大于1的不同频率的声音输入信号，在探头尖端处感应1GHz的声学振动， 以及分析输出信号，以至少在样品表面之下的表面下映射纳米结构。 |
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