| 一种基于超颖表面的高衍射效率反射式微型成像光谱仪 |
| CN202210347185.8 2022-4-1 发明申请 |
| 2022-7-1 |
| 本发明公开的一种基于超颖表面的高衍射效率反射式微型成像光谱仪，属于集成光电子成像领域。本发明通过改变超颖表面的纳米柱占空比和旋转角度，能够对入射光任意衍射级次进行调制，实现改变衍射角并提高衍射效率。通过改变纳米柱的几何尺寸实现改变入射光和出射光传输相位，矫正光学像差。入射光经过基于超颖表面的高效率反射式色散元件后，被色散分离成单波段光谱，不同波段光以不同衍射角出射至基于超颖表面相位型反射式光学元件和基于超颖表面相位型透射式光学元件。通过所述相位型反射式光学元件和相位型透射式光学元件的光线最终成像在光电探测器上。本发明能够实现高光谱分辨率成像并提高衍射效率，使得成像光谱仪的关键技术参数有效提升。 |
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