| 对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统及方法 |
| CN201910411581.0 2019-5-17 发明申请 |
| 2019-9-17 |
| 本发明涉及电子显微镜样品台冷却技术领域，提供一种对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统及方法。本发明提供的制冷系统包括第一真空腔体、第二真空腔体、对置式压缩机、制冷机及样品台，制冷机位于第一真空腔体内，样品台位于第二真空腔体内，对置式压缩机位于第一真空腔体外并与制冷机柔性连接，制冷机的冷头与样品台相连。本发明提供的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，对置式压缩机带动制冷机制冷，制冷机产生的冷量传递至样品台以降低样品台的温度，从而满足不同样品测量环境的温度要求，适用性高；对置式压缩机与制冷机分别位于第一真空腔体的外部和内部，相互分离设置，两者之间柔性连接，减小样品台的振动。 |
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