| 一种静电式MEMS法珀腔芯片的调平系统及调平方法 |
| CN202210287096.9 2022-3-23 发明申请 |
| 2022-6-21 |
| 本发明提供了提供了一种静电式MEMS法珀腔芯片的调平系统及调平方法：其中装置包括处理终端、光谱仪、光学准直器、聚焦模块、非相干宽光谱光源和用于调平MEMS法珀腔芯片的驱动调整组件；光学准直器的出射端设置有所述光谱仪，驱动调整组件设置于光谱仪和光学准直器之间，光谱仪对处理终端发送光谱数据，处理终端对驱动调整组件进行驱动控制；驱动调整组件包括电压控制模块和芯片夹具，芯片夹具用于固定MEMS法珀腔芯片并通过导电弹片的方式与MEMS法珀腔芯片盖板上的四个驱动电极相连接。通过该装置可以快速的找到每个驱动电极在每个滤光波段需要的电压分量，通过在驱动电压上增加对应的电压分量使法布里珀罗腔芯片在工作时是水平状态。 |
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