| 一种自适应步进扫描模块及其三维原子力显微镜 |
| CN201822142235.0 2018-12-19 实用新型 |
| 2019-9-13 |
| 本实用新型公开了一种自适应步进扫描模块及其三维原子力显微镜，自适应步进扫描模块，其特征在于，包括智能反馈控制器、六轴位移台、数据采集卡和控制模块，其中，所述原子力显微镜的探针驱动器受所述六轴位移台驱动以发生倾斜，所述探针驱动器与所述智能反馈控制器通讯连接，所述智能反馈控制器通过所述数据采集卡与所述控制模块通讯连接，所述数据采集卡与所述六轴位移台通讯连接。该模块可实现样品两侧侧壁的精确测量。 |
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