| 一种基于平面衍射光栅的高度测试传感系统 |
| CN202110621382.X 2021-6-3 发明申请 |
| 2021-8-20 |
| 本申请属于机械测试领域，具体涉及一种基于平面衍射光栅的高度测试传感系统。包括检测光源、光谱仪、准直镜、反射镜、变周期平面衍射光栅以及高度调整架，所述检测光源及光谱仪共同通过双芯光纤与准直镜连接，所述准直镜的出射方向设置有反射镜，所述反射镜的反射面与所述准直镜的出射方向成60°?70°设置，所述反射镜下方设置有用于接收反射光的变周期平面衍射光栅，所述变周期平面衍射光栅水平设置于高度调整架上端。本申请借助变周期平面衍射光栅的衍射特性，实现对高度的测量，不仅结构简单，而且灵敏度高、线性度好，抗电磁干扰能力强。 |
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