| 具有液膜喷射标靶之雷射产生电浆照明器 |
| TW109137799 2020-10-30 发明申请 |
| 2021-9-16 |
| 本文中呈现用于自采用一液膜喷射标靶之一雷射产生电浆()产生射线照明之方法及系统。将一高度经聚焦短持续时间雷射脉冲引导至一液膜喷射标靶。经聚焦雷射脉冲与膜喷射标靶之相互作用点燃一电浆。在某些实施例中液膜喷射由一会聚毛细管喷嘴或一会聚平坦腔喷嘴产生。在某些实施例中标靶材料包含具有一相对低原子序之一或多种元素。在某些实施例中液膜喷射光源产生用于量测半导体结构之结构特性及材料特性之在一软射线()光谱范围内之多个线或宽频射线照明。在某些实施例中利用如本文中所阐述之一液膜喷射照明源来执行反射小角度射线散射测量量测。-().....--()..-- |
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