| 微悬臂梁高阶谐振态控制机构及其原子力显微镜 |
| CN201822142277.4 2018-12-19 实用新型 |
| 2019-9-13 |
| 本实用新型公开了微悬臂梁高阶谐振态控制机构及其原子力显微镜，所述高阶谐振态控制机构包括微悬臂梁高阶谐振模态激励与检测单元和控制模块，其中：所述微悬臂梁高阶谐振模态激励与检测单元包括用于获取微悬臂梁当前谐振阶数的扫频测试模块、用于激励所述微悬臂梁震动的高阶谐振激励模块和用于记录并存储所述微悬臂梁振幅和相位值的高阶谐振响应模块；所述扫频测试模块和高阶谐振激励模块分别与所述控制模块通讯连接，所述高阶谐振响应模块通过AFM控制器与所述控制模块通讯连接。本实用新型可大大提高AFM的扫描速度，可根据需求设定微悬臂梁谐振阶数。 |
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