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一种扫描电镜样品台装置
CN201822146084.6 2018-12-20 实用新型
2019-9-13
本实用新型公开了一种扫描电镜样品台装置,包括样品座、多个样品载台和密封壳体,多个样品载台可拆卸地安装在样品座上,密封壳体包围在样品座外部,密封壳体内外气压差大于预定值时,密封壳体打开;本实用新型中,所提出的扫描电镜样品台装置,样品座位于密封壳体内,当密封壳体内充满惰性气体状态下,可避免样品座上的空气敏感型样品接触水分或空气受到污染破坏。
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